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維修SHIMADZU TMP-1303LMC-G1磁懸分子泵，二手分子泵維修出售


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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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Shimadzu TMP-V2304LM島津磁懸浮分子泵維修-

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島津是的渦輪分子泵（TMP）制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導體器件、太陽(yáng)能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。

島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿(mǎn)足日益嚴格的半導體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導體薄膜。

我司特針常用的 Shimadzu TMP3203渦輪分子維修保養內容如下：

1、超聲波清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干

2、更換了全套陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品

3、馬達線(xiàn)圈阻值測量,轉子定子間隙測量

4、根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動(dòng)平衡至Ｇ0.16標準,

5、測試0-27000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘*測試極限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持續模擬生產(chǎn)現場(chǎng)測試24小時(shí),

7、0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析

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